Electron optical systems for microscopy, microanalysis and microlithography proceedings of the 3rd Pfefferkorn Conference, held April 9 to 14, 1984, at the Carousel Hotel, Ocean City, MD

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Pfefferkorn Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Hren, John J. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: O'Hare, IL Scanning Electron Microscopy 1984
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Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:272, VIII S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:0931288347
0-931288-34-7