Electron optical systems for microscopy, microanalysis and microlithography proceedings of the 3rd Pfefferkorn Conference, held April 9 to 14, 1984, at the Carousel Hotel, Ocean City, MD
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
O'Hare, IL
Scanning Electron Microscopy
1984
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Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Beschreibung: | 272, VIII S. Ill., graph. Darst. |
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ISBN: | 0931288347 0-931288-34-7 |