Electron beam interactions with solids for microscopy, microanalysis & microlithography : proceedings of the 1st Pfefferkorn Conference, held April 18 to 23, 1982, at the Asilomar Conference Center, Monterey, CA

Electron beam interactions with solids for microscopy, microanalysis & microlithography proceedings of the 1st Pfefferkorn Conference, held April 18 to 23, 1982, at the Asilomar Conference Center, Monterey, CA

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Pfefferkorn Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Kyser, David F. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: O'Hare, IL Scanning Electron Microscopy 1984
Schlagworte:
Backscattering > Electron beams > Electron energy loss spectroscopy > Electrons > Microlithography > Solids > Effect of radiation on > Elektronenoptik > Elektronenstrahllithografie > Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:372, XII S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:0931288304
0-931288-30-4