Einführende Beiträge zur Mikrolithografie Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie"

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Friedrich-Schiller-Universität Jena Arbeitsgemeinschaft Technikum (BerichterstatterIn), Frühjahrsschule Elektronenlithografie (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Pertsch, Peter (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Jena Friedrich-Schiller-Univ. 1982
Schriftenreihe:	Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität Jena
Schlagworte:
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Beschreibung
Beschreibung:	232 S. Ill., graph. Darst.