Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Mohr, J. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Karlsruhe 1988
Schriftenreihe:	Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe 4414
Schlagworte:	Hochschulschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	Zugl.: Karlsruhe, T. H., Diss.
Beschreibung:	96 S.