Herstellung von Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis durch Präzisionszerspanung mit Formdiamanten

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Bier, Werner (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Karlsruhe 1988
Ausgabe:	Als Ms. vervielf.
Schriftenreihe:	Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe 4363
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