Silizium-Epitaxieschichten mittels Lösungstransport durch Fliehkraft und deren strukturelle und elektronische Charakterisierung überwiegend mit elektronenmikroskopischen Methoden

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Bauser, Elisabeth (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	und
Veröffentlicht:	Bonn 1986
Schriftenreihe:	Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T 1986,142
Schlagworte:	Zentrifugalkraft > Epitaxie > Silicium
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