Integrated circuits chemical and physical processing ; developed from the winter symposium ... University of California - Davis, March 26 - 27, 1984
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Washington, DC
American Chemical Soc.
1985
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Schriftenreihe: | American Chemical Society: ACS symposium series
290 |
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Beschreibung: | IX, 348 S. Ill., graph. Darst. |
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ISBN: | 0841209405 0-8412-0940-5 |