Integrated circuits chemical and physical processing ; developed from the winter symposium ... University of California - Davis, March 26 - 27, 1984

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Stroeve, Pieter (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Washington, DC American Chemical Soc. 1985
Schriftenreihe:American Chemical Society: ACS symposium series 290
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Beschreibung
Beschreibung:IX, 348 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:0841209405
0-8412-0940-5