Entwicklung neuer Dünn- und Dickfilmschichten für die Feuchtemessung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Borgwardt, Christian (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Karlsruhe Fachinformationszentrum 1985
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T 1985,175
Schlagworte:	Dünnschichttechnik > Feuchtigkeitssensor > Sensor > Tantal > Taupunkt > Feuchtigkeitsmessung > Dickschichttechnik
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Beschreibung
Beschreibung:	118, 8 S.