Thin film and depth profile analysis

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Oechsner, Hans (BerichterstatterIn), Etzkorn, Heinz-Werner (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Berlin u.a. Springer 1984
Schriftenreihe:	Topics in current physics 37
Schlagworte:	Sputtering (Physics) > Surface chemistry > Thin films > Surfaces > Dünnschichttechnik > Oberflächenchemie > Sputtern > Dünne Schicht > Oberflächenanalyse > Tiefenprofilmessung > Aufsatzsammlung > Oberflächen-Mikroanalyse > Tiefenprofil
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Beschreibung
Beschreibung:	XI, 205 S. Ill.
ISBN:	3540133208 3-540-13320-8 0387133208 0-387-13320-8