Entwicklung eines Funktionsmusters für einen Präzisionsleistungsmesser in Dünnschichttechnologie

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Delfs, Hans (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Karlsruhe Fachinformationszentrum 1984
Schriftenreihe:Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T 1984,161
Schlagworte:
Dünnschichttechnik > Messwandler > Temperatursensor > Chrom > Nickel > Dünne Schicht > Präzisionsleistungsmesser
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Beschreibung
Beschreibung:32 S.