Technologische Entwicklung für hochintegrierte MOS-Systeme

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Arndt, Jürgen (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Karlsruhe Fachinformationszentrum 1983
Schriftenreihe:Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T 1983,142
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Beschreibung
Beschreibung:139 S.