Silizium-Flüssigphasen-Epitaxie mit Lösungstransport durch Fliehkraft und Untersuchung und Charakterisierung der Silizium-Epitaxieschichten mit Hilfe der Transmissions-Elektronenmikroskopie

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Bauser, Elisabeth (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Karlsruhe Fachinformationszentrum 1983
Schriftenreihe:	Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T 1983,97
Schlagworte:	Silicium > Flüssigphasenepitaxie > Epitaxiezentrifuge
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