Experimentelle und theoretische Untersuchung der Elektronenstrahldirektbelichtung zur Herstellung von Halbleitersubmikronstrukturen

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Stephani, Dietrich (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	und
Veröffentlicht:	Karlsruhe Fachinformationszentrum 1983
Schriftenreihe:	Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T 1983,88
Schlagworte:	Elektronenstrahllithografie > Halbleiter > Halbleitersubmikronstrukturen
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