Journal of vacuum science & technology JVST ; an AVS journal B Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena

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Bibliographische Detailangaben
Vorheriger Titel:	Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures
Körperschaft:	American Vacuum Society (Herausgebendes Organ)
Format:	Online
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York, NY AIP Publishing 2010-
Schlagworte:	Vakuumtechnik > Zeitschrift
Online Zugang:	https://pubs.aip.org/avs/jvb https://ezb.ur.de/?3117331-7
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