Proceedings of the Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films [held October 20 - 24, 1986, in San Diego, Calif.]
Gespeichert in:
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Pennington, NJ
1987
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| Schriftenreihe: | Proceedings / Electrochemical Society
87-10 : Dielectrics and insulation and electronics divisions |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | X, 550 S. Ill., graph. Darst. |
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| Bibliographie: | Literaturangaben |