ARPA/NBS workshop IV surface analysis for silicon devices

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Lieberman, A. George
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Washington U.S. Gov. Print. Off. 1976
Schriftenreihe:Semiconductor measurement technology 23
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Beschreibung
Beschreibung:VII, 239 S.
Ill., graph. Darst.