Angular sensitivity of controlled implanted doping profiles
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Washington
U.S. Dept. of Commerce, National Bureau of Standards : for sale by the Supt. of Doc., U.S. Govt. Print. Off
1978
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| Schriftenreihe: | Semiconductor measurement technology
NBS special publication 400-49 |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Includes bibliographical references Erscheinungsjahr in Vorlageform:1978 |
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| Beschreibung: | VII, 54 S. graph. Darst. 26 cm |