Einfluss von Sauerstoff auf die Nitridierungskinetik von Silicium

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Marcks, Andreas
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Schlagworte:
Online Zugang:Katalogkarte der UB Frankfurt
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Beschreibung
Beschreibung:118 S.
Ill., graph. Darst.
21 cm