Erzeugung großflächiger Mikrostrukturen mittels Elektronenstrahlbelichtung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Hersener, Jürgen
Weitere Verfasser:	Ricker, Thomas
Format:	UnknownFormat
Sprache:	und
Veröffentlicht:	Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1978
Schriftenreihe:	Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 78,1 - ; 78,18
Schlagworte:	Mikrostruktur > Elektronenmikroskopie > Elektronenstrahlbelichtung
Online Zugang:	Katalogkarte der UB Frankfurt
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Beschreibung
Beschreibung:	79 S. 20 Ill. u. graph. Darst.