Untersuchungen zur Phasenbildung mittels Ionenimplantation im Si-C-N System

Frankfurt, Main, Univ., Diss., 1999

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Link, Frank
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Schlagworte:
Kohlenstoff > Stickstoff > Mehrstoffsystem > Ionenimplantation > Silicium
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Beschreibung
Zusammenfassung:Frankfurt, Main, Univ., Diss., 1999
Beschreibung:102 Bl.