Laser annealing of semiconductors

Laser annealing of semiconductors

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Poate, John M. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York ˜u.a.œ Acad. Press 1982
Schlagworte:
Halbleiter > Laserhärten
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Beschreibung
Beschreibung:XI, 564 S.
graph. Darst.
ISBN:0125588208