Tantal-Aluminium-Dünnschichttechnologie für eine neue IMS-Generation-Mikrowellen-Schichtschaltungen

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Zentrallaboratorium für Nachrichtentechnik
Weitere Verfasser:	Bock, Siegfried
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1980
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schlagworte:	Dünne Schicht > Sputtern
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