Diffuse Röntgenstreuung an rauhen Grenzflächen
München, Univ., Diss., 1995
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Schlagworte: |
Wolfram
> Silicium
> Mehrschichtsystem
> Sputtern
> Rauigkeit
> Röntgenstreuung
> Niob
> Aluminiumoxide
> Oberfläche
> Metallschicht
> Aufdampfschicht
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Zusammenfassung: | München, Univ., Diss., 1995 |
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Beschreibung: | IV, 129 S. Ill., graph. Darst. |