Journal of vacuum science and technology JVST ; an AVS journal B Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena

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Bibliographische Detailangaben
Vorheriger Titel:	Journal of vacuum science & technology
Körperschaft:	American Vacuum Society (Herausgebendes Organ)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York, NY Inst. 1983-
Schlagworte:	Vakuumtechnik > Zeitschrift
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