Journal of vacuum science & technology the official journal of the American Vacuum Society

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Bibliographische Detailangaben
Späterer Titel:	Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, & films Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics
Körperschaft:	American Vacuum Society (Herausgebendes Organ)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York, NY Inst. 1964-1982
Schlagworte:	Vakuumtechnik > Zeitschrift
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Beschreibung
Veröffentlicht:	1.1964 - 21.1982
ISSN:	0022-5355 2331-1754