Integrierte Sensoren für die Raster-Kraft-Mikroskopie Entwurf, Charakterisierung und Anwendungen

Kassel, Univ., Diss., 1995

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Linnemann, Reinhard
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Schlagworte:	Rasterkraftmikroskop > Piezoelektrisches Bauelement
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Kassel, Univ., Diss., 1995
Beschreibung:	III, 112 S. Ill., graph. Darst.