Entwicklung und Verifikation numerisch effizienter Simulationsverfahren für RF-Niederdruckgasentladungen im PECVD-Regime

München, Univ., Diss., 1995

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Fürst, Robert
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Schlagworte:	PECVD-Verfahren > Niederdruckplasma > Boltzmann-Gleichung > Poisson-Gleichung
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	München, Univ., Diss., 1995
Beschreibung:	V, 146 S. graph. Darst.