Hochtemperaturoxidation von Nitrid-Schichten mit ternären Zusätzen

Stuttgart, Univ., Diss., 1994

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Huber, Eberhard
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Schlagworte:
Nitride > Ternäres System > Legierungselement > Oxidation > Tiefenprofilmessung
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Beschreibung
Zusammenfassung:Stuttgart, Univ., Diss., 1994
Beschreibung:123 S.
graph. Darst.