Plasma-CVD-Beschichtung Vorhaben Nr. 110 ; Plasma-CVD-Beschichtung bei tiefen Temperaturen ; Abschlußbericht

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Crummenauer, J.
Weitere Verfasser:	Stock, H.-R.
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Frankfurt/M. 1991
Schriftenreihe:	Forschungshefte / Forschungskuratorium Maschinenbau e.V. 159
Schlagworte:	PECVD-Verfahren > Beschichten
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	IV, 80 S. Ill., graph. Darst.
Bibliographie:	Literaturverz. S. 76 - 78