Abscheidung dünner Isolationsschichten aus der Gasphase

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Behn, Reinhard
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	München Zentralstelle für Luft- und Raumfahrtdokumentation und -information 1976
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Forschungsbericht / Bundesministerium für Forschung und Technologie. T, Technologische Forschung und Entwicklung 76-66
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