MOCVD-Materialien zur Abscheidung dünner Schichten Synthese, Struktur und Anwendung cyclopentadienyl-substituierter Metallverbindungen

Bielefeld, Univ., Diss., 1993

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Dahlhaus, Jürgen
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Schlagworte:	Komplexe > MOCVD-Verfahren > CVD-Verfahren > Chemische Synthese > Metallorganische Verbindungen > Cyclopentadienylgruppe > Cyclopentadienderivate > Metallkomplexe
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Bielefeld, Univ., Diss., 1993
Beschreibung:	190 S. graph. Darst.