Tunnel-MIS-Dioden mit neuartigen ultradünnen Dielektrika aus plasmanitriertem und thermisch nitriertem Silizium

Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1986

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Meisel, Thomas
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Schlagworte:	Tunneldiode > MIS-Diode > Siliciumnitrid
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1986
Beschreibung:	IV, 143 S.