Microcircuit engineering ME ; proceedings of the Microcircuit Engineering Conference

Forts. als Monographie behandelt

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Microcircuit Engineering Conference (Herausgebendes Organ), International Conference on Microlithography (Herausgebendes Organ)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	London u.a. Academ. Pr. 1977-1989
Schlagworte:	Zeitschrift > Konferenzschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Forts. als Monographie behandelt
Veröffentlicht:	Nachgewiesen 1977 - 1986; 13.1987 - 14.1988(1989)
ISSN:	0893-5157