Photolithography basics of microstructuring

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Koch, Christian (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Rinke, Titus J. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Ulm, Germany MicroChemicals GmbH 2017
Ausgabe:	1st edition
Schlagworte:	Fotolithografie
Online Zugang:	Beschreibung für Marketing Inhaltsverzeichnis
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Titel	Jahr	Band
Fotolithografie : Grundlagen der Mikrostrukturierung	2017