Micromachined inductive suspensions with 3D wirebonded microcoils

Dissertation, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg im Breisgau, 2017

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Lu, Zhiqiu (VerfasserIn)
Körperschaft:	Shaker Verlag (Verlag)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Aachen Shaker Verlag 2017
Schriftenreihe:	Microactuators - design and technology volume 11
Schlagworte:	Hochschulschrift > Elektromagnetisches Lager > Reibung > Verschleiß > Magnetschwebetechnik > Spule > Drahtbonden > Mikrofertigung > Steifigkeit > Positionierung > Mikroaktor
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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