MOEMS and Miniaturized Systems XV : 15-17 February 2016, San Francisco, California, United States

MOEMS and Miniaturized Systems XV 15-17 February 2016, San Francisco, California, United States

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: MOEMS and Miniaturized Systems (VerfasserIn), SPIE (SponsorIn)
Weitere Verfasser: Piyawattanametha, Wibool (HerausgeberIn), Park, Yong-Hwa (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Washington, USA SPIE 2016
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE volume 9760
Schlagworte:
Konferenzschrift > MEMS > Elektrooptisches Bauelement > Miniaturisierung
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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