Ultradünne Chips zum Einsatz in µ-Systemen Spitzencluster MicroTEC Südwest : PRONTO Ultimum : Projektlaufzeit: 01.08.2010-30.06.2015 : Abschlussbericht

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Alshahed, Muhammed (VerfasserIn)
Körperschaft: Institut für Mikroelektronik Stuttgart (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser: Berschauer, Kristina (VerfasserIn), Gneiting, Thomas (VerfasserIn), Harendt, Christine (VerfasserIn), Hassan, Mahadi-Ul (VerfasserIn), Kostelnik, Jan (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Stuttgart Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) 2015
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