KMU-innovativ Optische Technologien - Verbundprojekt: "Verlustarme hochbrechende Oxidschichten für die Präzisionsoptik durch Magnetronsputtern mit hohem Ionisationsgrad" (OptiOxid) : Teilvorhaben Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP: "Magnetronsputtern mit hohem Ionisationsgrad des Plasmas" : Abschlussbericht : Bewilligungszeitraum: 01.04.2012-31.03.2015

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Schönberger, Waldemar (VerfasserIn)
Körperschaft:	Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser:	Bartzsch, Hagen R. (VerfasserIn), Modes, Thomas (MitwirkendeR)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP 28.09.2015
Schlagworte:	Forschungsbericht
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