Modeling aspects in optical metrology V 23 - 25 June 2015, Munich, Germany ; [part of SPIE optical metrology]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: European Optical Society (BerichterstatterIn), Wissenschaftliche Gesellschaft Lasertechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Bodermann, Bernd (BerichterstatterIn), Frenner, Karsten (BerichterstatterIn), Silver, Richard M. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2015
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 9526
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Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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