Measurement technology for micro-nanometer devices

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Zhang, Wendong (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Chou, Xiujian (VerfasserIn), Shi, Tielin (VerfasserIn), Ma, Zongmin (VerfasserIn), Bao, Haifei (VerfasserIn), Chen, Jing (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Singapore Wiley 2017 China National Defense Industry Press 2017
Schlagworte:	Microtechnology > Measurement > Nanotechnology > Microelectromechanical devices > Testing > Physical measurements > Messung > Nanometerbereich > MEMS
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis Beschreibung & Leseprobe
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