Materials and failures in MEMS and NEMS

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Tiwari, Atul (HerausgeberIn), Raj, Baldev (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Hoboken, New Jersey Wiley 2015 Salem, Massachusetts Scrivener Publishing 2015
Schlagworte:	Microelectromechanical systems > Design and construction > Nanoelectromechanical systems > MEMS > Nanoelektromechanik
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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