Vertical comb-drive actuators for millimeter waveguide applications

Zugl.: Zürich, Techn. Hochsch., Diss., 2014

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Li, Yunjia (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Uelvesbüll Der Andere Verl. 2014
Schriftenreihe:	Scientific reports on micro and nanosystems 21
Schlagworte:	Hochschulschrift > Wellenleiter > Millimeterwelle > MEMS > Mikroaktor > Kammantrieb > Herstellung
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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