Wachstumskern Potenzial Berlin PolyBoard Verbundprojekt: Polymer basierte Technologieplattform für hybrid-integrierte optische Komponenten ; Teilprojekt: Optimierte ICP-Ätzprozesse und Anlage für die PolyBoard-Technologie ; Projekt-Abschlussbericht ; Berichtslaufzeit: 01.12.2011 bis 31.03.2014

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Sentech Instruments GmbH (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Kwapien, Tomasz (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin ca. 2014
Schlagworte:	Forschungsbericht
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