Wachstumskern Potenzial Berlin PolyBoard : Verbundprojekt: Polymer basierte Technologieplattform für hybrid-integrierte optische Komponenten ; Teilprojekt: Optimierte ICP-Ätzprozesse und Anlage für die PolyBoard-Technologie ; Projekt-Abschlussbericht ; Berichtslaufzeit: 01.12.2011 bis 31.03.2014

Wachstumskern Potenzial Berlin PolyBoard Verbundprojekt: Polymer basierte Technologieplattform für hybrid-integrierte optische Komponenten ; Teilprojekt: Optimierte ICP-Ätzprozesse und Anlage für die PolyBoard-Technologie ; Projekt-Abschlussbericht ; Berichtslaufzeit: 01.12.2011 bis 31.03.2014

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Sentech Instruments GmbH (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Kwapien, Tomasz (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Berlin ca. 2014
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 03WKP23E. - Verbund-Nr. 01090445
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Beschreibung:13 Bl.
Ill., graph. Darst.