Mikro-Nano-Integration Beiträge des 5. GMM-Workshops, 8. - 9. Oktober 2014 in Ilmenau

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Hoffmann, Martin (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin VDE-Verl. 2014
Schriftenreihe:	GMM-Fachbericht 81
Schlagworte:	Konferenzschrift > CD-ROM > Mikrosystemtechnik
Online Zugang:	Ausführliche Beschreibung Inhaltstext
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