MEMS and nanotechnology

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Society for Experimental Mechanics (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Prorok, Barton C. (BerichterstatterIn), Starman, LaVern (BerichterstatterIn), Hay, Jennifer (BerichterstatterIn), Shaw, Gordon (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Cham u.a. Springer c 2015 publ. 2014
Schriftenreihe:	Proceedings of the 2014 Annual Conference on Experimental and Applied Mechanics Vol. 8
Schlagworte:	Konferenzschrift > MEMS
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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