New approaches to image processing based failure analysis of nano-scale ULSI devices

New Approaches to Image Processing Based Failure Analysis of Nano-Scale ULSI Devices introduces the reader to transmission and scanning microscope image processing for metal and non-metallic microstructures. Engineers and scientists face the pressing problem in ULSI development and quality assurance...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Zalevsky, Zeev (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Livshits, Pavel (VerfasserIn), Gur, Eran (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam, Boston, Heidelberg William Andrew, an imprint of Elsevier 2014
Schriftenreihe:	Micro & nano technologies series
Schlagworte:	Integrated circuits > Ultra large scale integration > Nanoelectronics > Microelectronics > Mikroelektronik > Nanoelektronik > Störfallanalyse > Bildverarbeitung
Online Zugang:	Verlagsangaben http://site.ebrary.com/lib/alltitles/docDetail.action?docID=10812561
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