Neue Produkte durch Rolle zu Rolle Fertigung von MID basierten Mikrosystemen R2R-MID des Spitzenclusters MicroTEC Südwest Verbundprojekt ; Teilvorhaben: Vorder-/Rückseitenkontaktiertechnik für IC's ; Schlussbericht ; Projektlaufzeit: 01.10.2010 - 30.09.2013
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| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Stuttgart
Inst. für Mikroelektronik
2014
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