Fundamentals of laser-assisted micro- and nanotechnologies 2013 24 - 28 June 2013, St. Petersburg-Pushkin, Russian Federation ; [papers of the International Symposium on Fundamentals of Laser-Assisted Micro- and Nanotechnologies (FLAMN-13)]
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Bellingham, Wash.
SPIE
2013
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Schriftenreihe: | Proceedings of SPIE
9065 |
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