Fundamentals of laser-assisted micro- and nanotechnologies 2013 24 - 28 June 2013, St. Petersburg-Pushkin, Russian Federation ; [papers of the International Symposium on Fundamentals of Laser-Assisted Micro- and Nanotechnologies (FLAMN-13)]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Sankt-Peterburgskij Nacionalʹnyj Issledovatelʹskij Universitet Informacionnych Technologij, Mechaniki i Optiki (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Veiko, Vadim P. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2013
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 9065
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