Ultrapräzisionsbearbeitung mit atomaren Teilchenstrahlen Schlussbericht zum InnoProfile-Vorhaben ; [Berichtszeitraum: 01.10.2007 - 31.12.2012]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Arnold, Thomas (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Leipzig 2013
Schlagworte:	Forschungsbericht
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